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关于MEMS,究竟包括多少信息? 发布时间:2018-04-17   浏览量:1338次

现如今,MEMS一词越来越多的出现在日常生活中,MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的英文缩写,翻译过来叫做微机电系统,也叫做微系统、微机械等。


MEMS家族中除了惯性产品还有很多其他领域的产品,常见的MEMS产品包括MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的集成产品。所以说MEMS是一种技术的统称,这种技术可以在很多领域得到应用。如果你认为MEMS只是指的MEMS惯性产品,那就太局限了。


做为一种革命性的新技术,MEMS具有很多传统技术所不具备的优点:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。常见的MEMS产品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm,甚至更小。你可以想象一下,也就是一个米粒的尺寸,与最小也要5cm直径的光纤陀螺相比,体积缩小了差不多10倍有余。


批量生产:用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。还拿MEMS陀螺仪举例,手机上所用的MEMS陀螺仪成本大约几十元人民币,这个成本在MEMS技术出现之前几乎是难以想象的。


集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,或形成微传感器阵列、微执行器阵列,甚至把多种功能的器件集成在一起,形成复杂的微系统。


MEMS技术的应用方向也很广,医疗与生物领域的基因分析和遗传诊断、汽车工业的微加速度计、彩色电视机的光处理器件 DLP 等都是基于MEMS技术。


然而我们导航圈最熟悉的MEMS产品还是MEMS惯性产品。MEMS惯性产品包含MEMS惯性器件和MEMS惯性系统.MEMS惯性器件指的是MEMS加速度计、MEMS陀螺仪和由其构成的MEMS级别IMU。MEMS惯性系统则包含MEMS级别航姿参考系统、MEMS级别组合导航系统等。下面小编为大家介绍几款性价比很高的MEMS产品。


AHRS

该产品精度更高,陀螺仪精度可达4deg/h,角度精度可达0.1度。而且有高精度Heave功能,可以测量船体的升沉幅度。被广泛用于船体姿态控制、海上平台线性补偿以及中型机械设备等。


INS

INS是组合导航系统,采用了NovAtel高精度板卡和高精度MEMS器件。姿态航向精度可达0.1度。还可以输出原始数据,使用后处理软件进行解算,已得到更高精度的位置航向信息。该产品的某些特定型号还具有RTK功能。INS在背包移动测量、无人机航摄、机器人控制等领域有着广泛应用。


MEMS技术近年来发展的十分迅速,可以预期未来若干年内还会有倍数级别的精度突破。MEMS产品逐渐会应用于几乎所有可以想象到的领域,以它的轻小、低沉本等优点占据着市场。所以,当你对MEMS产品有需求却又拿捏不准用什么产品的时候,请联系小编我吧,很荣幸为大家效劳。


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