MEMS惯性测量组合是制导系统的关键部件，其失效将给整个系统带来严重的后果。惯性测量组合技术不仅在军事领域，并且在陆地、航空、航天以及航海等许多领域都有广泛的应用。惯性器件是实现精确制导的关键子系统，用于实时测量载体的角速率...
惯性测量组合是采用MEMS技术实现的上述装置，在系统集成方面分为两种：一种是通过组装方式，将MEMS陀螺、MEMS加速度计及相关处理电路安装在一个小型的结构中集成为微性测量组合。另一种是采用全集成方式，将陀螺、加速度计及相关处理电路...
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